ダイヤモンド研削パッド スクアドロ

パッド上にダイヤモンドを固着させたシート状の研磨製品です。定盤に張り付けてお使いいただく製品になり、遊離砥粒方式よりも簡単に使用できます。各種材料毎にボンド材や集中度などが異なるいくつかのラインアップがございます。こちらの製品は、現在非常にお問合せが多くなっています。現在同タイプの製品をご使用中で、何かお困りのことのあるお客様は、ぜひお気軽にお問合せください。

MWS用ダイヤモンドスラリー WSG

SiCインゴットのマルチワイヤーソー用途で非常に有効なダイヤモンドスラリーです。グリコールタイプの製品となっており、油性品に比べて環境負荷も低く扱いやすい製品です。加えて、切れ味と面精度及びカーフロスでも優秀なデータを残している製品となります。パワー半導体や次世代通信用途にますます注目度の高まるSiC関連の製品です。

リキッドダイヤモンド

弊社のダイヤモンドパウダーは0.015ミクロン(15ナノ)など非常に微細なサイズまでを高精度に製造しております。これらの微小サイズのダイヤモンドは非常に凝集しやすいことが課題ですが、弊社では独自に開発したGAF技術によりダイヤモンドの凝集を防いだ製品を展開しております。

ダイヤモンドスラリー

水性・油性及びグリコールタイプのルブリカントに弊社製のダイヤモンドをブレンドしたスラリーです。スラリーメーカーは数多くありますが、自社でダイヤモンドを製造しているところは多くありません。パウダーと液を別々に調達して混合することでは得られない、高い切れ味と優れた面粗さを実現できる製品です。スラリーと一緒に、各種ウレタンパッドや金属複合材特殊定盤(IRINO)なども現在展開しております。右のアンカーテクノ様ホームページリンクをご参照ください。

ダイヤモンドパウダー

単結晶・多結晶・天然・クラスターといった幅広いタイプをラインアップしております。特筆すべき点は、その分級精度と砥粒品質管理へのこだわりです。ナノサイズのダイヤモンドなど細かいサイズのダイヤモンドを安定的に製造可能です。尚、多結晶ダイヤモンドについては自社アメリカ工場で合成しておりますが、その合成規模は世界最大級です。

ダイヤモンドペーストとダイヤモンドジェル

超硬工具や金型の研磨に粘度の高いダイヤモンドペーストやダイヤモンドジェルを準備しております。大面積のワークピースの場合はダイヤモンドジェルがおすすめです。また、ダイスの穴研磨にもジェルタイプのものが使用されています。特に多結晶ダイヤジェルは、ワークの輝きが違います。

IRINO(開発中)

弊社ダイヤモンドスラリーと一緒に使う金属複合材のパッド材料です。研磨装置でスラリーを有効に利用するため、パッド表面の金属複合材の表面構造を工夫してデザインしています。ポリウレタンパッドの表面粗さを金属定盤の研磨レートで実現するというコンセプトの製品です。CMPプロセスを短くしたい場合に、この製品を最終工程にいれると有効です。完成の際は、IPROSのメルマガ発行などを予定しています。