製品・サービス

レジボンド系ダイヤモンド研削パッドSQUADRO(スクアドロ)

パッド上にダイヤモンドを固着させたシート状の研磨製品です。定盤に貼って使い終わったらはがすという使い方で、遊離砥粒方式よりも簡単に使用できます。各種材料毎にボンド材の硬さや集中度などが異なるいくつかのラインアップがございます。同タイプの製品をご使用中で、何かお困りのことのあるお客様は、ぜひお気軽にお問合せください。

メタルボンド系ダイヤモンド研削パッドPLATO(プラート)

セラミックスやガラス、各種金属などのワークの研削加工におすすめの研磨パッドです。メタルボンドで固定されたダイヤモンド砥粒により、高い研磨レートを発揮します。高い研削性と高寿命といった特長に加えて、メタルボンド仕様のため、ほとんどすべての冷却潤滑材(クーラント)に対応しています。

光学材料向けポリウレタンブロック IC OPTIC Puck

IC OPTIC Puckは、平面や球面の光学材料の研磨におすすめの微細孔構造ポリウレタンブロックです。

従来の金属やガラス成形ツールに接着された花弁型パッドに代わり、高速CNC研磨装置やスピンドル研磨装置でご使用いただけます。円柱形のブロックで提供いたしますので、ご使用時にお好きな形状に成形いただけます。

プレCMPスラリー ULTRA-SOL STD0.5μ20MCH(ウルトラソル)

コロイダルシリカに0.5μmサイズの単結晶ダイヤモンドをブレンドしたプレCMP用スラリーです。ダイヤ砥粒で表面にアタックをかけ、コロイダルシリカで整わせることで、高い加工レートと表面品質を実現できます。仕上げCMPの前に使用することでプロセス時間を大幅に短縮します。サファイア、SiC、窒化ケイ素など、硬質材料の研磨に適しています。微細スクラッチ等の除去の効率化、過マンガン酸カリウムスラリーの負荷低減などの効果も期待できます。海外の大手SiCメーカーでも多数の採用実績がございます。

プレCMPスラリー ULTRA-SOL STD0.5μ20MCH(ウルトラソル)

光学材料用酸化セリウムスラリー ULTRA-SOL OPTIQ

ULTRA-SOL OPTIQ

ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、ガラスセラミックスなどの光学材料の精密研磨におすすめの高純度酸化セリウムスラリーです。小粒径の粒度分布がシャープな酸化セリウムを独自のクーラント液に配合した本スラリーは、沈降しにくく、洗浄しやすいのが特徴です。また、砥粒の濃度が高いため、現場で希釈することでフレキシブルにご使用いただけます。

IRINO-PRO-C

※現在開発中の製品です。

ダイヤモンドスラリーでの加工時に使う金属複合材のパッド材料です。ポリウレタンパッドの表面粗さを金属定盤の研磨レートで実現するというコンセプトの製品です。CMPプロセスを短くしたい場合に、この製品を最終工程にいれると有効です。研磨装置でスラリーを有効に利用するため、パッド表面の金属複合材の表面構造を工夫してデザインしています。

ダイヤモンドスラリー

水性・油性及びグリコールタイプのルブリカントに弊社製のダイヤモンドをブレンドしたスラリーです。スラリーメーカーは数多くありますが、自社でダイヤモンドを製造しているところは多くありません。パウダーと液を別々に調達して混合することでは得られない、高い切れ味と優れた面粗さを実現できる製品です。スラリーと一緒に、各種ウレタンパッドや金属複合材特殊定盤(IRINO)なども現在展開しております。画面右側のアンカーテクノ様ホームページリンクをご参照ください。

MWS用ダイヤモンドスラリーWSG

SiCインゴットのマルチワイヤーソー用途で非常に有効なダイヤモンドスラリーです。グリコールタイプの製品となっており、油性品に比べて環境負荷も低く扱いやすい製品です。加えて、切れ味と面精度及びカーフロスでも優秀なデータを残している製品となります。パワー半導体や次世代通信用途にますます注目度の高まるSiC関連の製品です。

ダイヤモンドパウダー

単結晶・多結晶・天然・クラスターといった幅広いタイプをラインアップしております。特筆すべき点は、その分級精度と砥粒品質管理へのこだわりです。ナノサイズのダイヤモンドなど細かいサイズのダイヤモンドを安定的に製造可能です。尚、多結晶ダイヤモンドについては自社アメリカ工場で合成しておりますが、その合成規模は世界最大級です。

リキッドダイヤモンドGAF

ミクロンサイズのダイヤモンドは非常に凝集しやすく、スラリーとして使用するには分散加工を施す必要があります。弊社では独自に開発した凝集フリー技術によりダイヤモンドの凝集を防いだリキッドダイヤモンドをご用意しております。脱イオン水で希釈するだけで手軽にスラリー化しご使用いただけます。

ダイヤモンドペースト/ダイヤモンドジェル

超硬工具や金型の研磨に粘度の高いダイヤモンドペーストやダイヤモンドジェルを準備しております。大面積のワークピースの場合はダイヤモンドジェルがおすすめです。また、ダイスの穴研磨にもジェルタイプのものが使用されています。特に多結晶ダイヤジェルは、ワークの輝きが違います。